主动隔振平台

型号类别

尺寸(mm)

承载范围

适用领域

应用案例

小型主动隔振平台｜精密桌面级应用

600×600

≤300kg

·纳米材料研究

·表面物理

·高校与科研院所基础实验室

·原子力显微镜（AFM）高分辨成像、

·扫描隧道显微镜（STM）

中型主动隔振平台｜光学与微纳加工应用

900×1200

≤800kg

·光学工程

·精密计量

·微纳制造实验室

·高倍光学显微成像系统、

·激光干涉与精密测量系统

中型主动隔振平台｜光学与微纳加工应用

1200×1800

≤1500kg

·半导体制造

·芯片测试

·精密装备制造

·半导体曝光与对准设备、

·晶圆探针台与测试系统

定制型气浮光学平台｜复杂系统与工程级应用

按需求定制

按需求定制

·国家级科研装置

·精密制造产线

·大型综合测试系统

·多设备集成科研系统、

·高端制造与检测产线