CS小型探针台

CS小型探针台

一、产品概述

CS小型探针台是艾博纳(ABN)为桌面式一体化设计,整机紧凑占地小,核心搭载精密微操纵探针臂、光学对位系统与真空吸附样品台,可实现对芯片、晶圆(≤2 英寸)、微型 PCB、微纳器件测试点的微米级精准接触,配合源表、万用表、示波器等外设,完成 DC 直流参数、低频频响、连通性等基础电性能测试。设备定位精度达 μm 级,探针配置灵活,操作门槛低,无需专业机房,普通实验室桌面即可部署,是小样品测试、教学实验、研发预研的高性价比选择,广泛适配微电子、材料、光电器件等领域的基础测试需求。

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CS小型探针台

一、产品概述

CS小型探针台是艾博纳(ABN)为桌面式一体化设计,整机紧凑占地小,核心搭载精密微操纵探针臂、光学对位系统与真空吸附样品台,可实现对芯片、晶圆(≤2 英寸)、微型 PCB、微纳器件测试点的微米级精准接触,配合源表、万用表、示波器等外设,完成 DC 直流参数、低频频响、连通性等基础电性能测试。设备定位精度达 μm 级,探针配置灵活,操作门槛低,无需专业机房,普通实验室桌面即可部署,是小样品测试、教学实验、研发预研的高性价比选择,广泛适配微电子、材料、光电器件等领域的基础测试需求。

二、设备参数

设备规格


尺寸

4英寸/6英寸

水平旋转

可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置

X-Y移动行程

4英寸*4英寸

X-Y移动精度

10微米

样品台Z轴调节

可升降10mm

样品固定

真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环

针座平台

U型针座平台,最多可放置6个探针座

背电极测试

样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极

外形尺寸

400mm长*400mm宽*500mm高

重量

约25千克



光学系统


显微镜类型

单筒显微镜/体式显微镜

放大倍率

16X-200X

移动行程

水平方向绕立柱360度旋转,Z轴50.8mm

光源

外置LED无极调节亮度环形光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素



探针座


X-Y-Z移动行程

12mm*12mm*12mm

移动精度

10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径

0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

针尖材质

钨钢/铍铜


三、核心功能特点

桌面紧凑型设计:整机小巧轻便,占地<0.2㎡,无需专用安装空间,普通实验室桌面、教学实验台均可部署,移动与收纳便捷

微米级精准定位:探针臂采用精密微操纵结构,X/Y/Z 轴独立微调,±1μm 定位精度,满足小样品、微纳器件的精细测试点接触需求

灵活的探针配置:标配 4 路通用探针臂,360° 环形分布,可独立调节高度与角度;兼容尖头 / 平头 / 弹性测试探针,探针更换无需专业工具,操作简单基

础电测全兼容:原生支持 DC 直流测试(电压 / 电流 / 电阻 / 导通性)、低频频响测试,可无缝对接源表、万用表、示波器、锁相放大器等常规测试外设简易光学对位标配高倍金相显微镜,清晰观测样品测试点与探针针尖,选配 CCD 视觉模块可实现实时画面显示,降低对位操作难度

稳定的样品固定:真空吸附样品台,可快速固定小尺寸晶圆、芯片、微型 PCB,防止测试过程中样品偏移,保障测试重复性;样品台支持水平微调,适配不规则样品

高性价比与低门槛:整机采购成本低,运维无耗材,无需专业技术人员操作,新手经简单培训即可上手,适配教学实验与研发初筛

适度拓展性:可选配 CCD 视觉对位、简易电磁屏蔽罩、探针臂数扩展(最多 6 路),满足基础测试向进阶测试的轻度升级需求

四、应用场景与领域

CS-4 小型探针台聚焦小样品、基础型、入门级测试需求,覆盖高校教学、研发预研、小批量样品初筛等场景,核心应用于微电子、材料科学、光电器件等领域的基础测试,具体场景如下:

1. 高校教学实验

微电子、材料科学、电子信息工程等专业的课堂教学与实验实训,如半导体器件基础特性测试、PCB 连通性实验、材料电阻率测量,适配本科 / 研究生基础实验教学,让学生直观掌握探针测试原理与操作方法。

2. 研发预研与样品初筛

中小企业、初创团队的器件研发预研,对芯片、微纳器件、新材料样品进行前期电性能初筛,快速判断样品基础特性(如导通性、电阻值、I-V 曲线),筛选合格样品进入后续高精度测试,降低研发成本。

3. 小尺寸芯片 / 晶圆测试

≤2 英寸半导体晶圆、裸芯片、微型封装芯片的基础 DC 特性测试,如 MOS 管、二极管、三极管的 I-V/C-V 测试,适配实验室小批量晶圆片测试与器件特性表征。

4. 微纳材料与器件测试

石墨烯、MoS₂等二维材料、纳米薄膜、微纳传感器的基础电性能测试,如材料电阻率、载流子浓度初测,微纳传感器的通断与响应特性验证。

5. 微型 PCB / 柔性微板测试

消费电子、穿戴设备的微型 PCB、柔性微板(FPC)的连通性测试与基础电阻测试,适配小规格柔性板的研发打样初筛。

6. 光电器件基础测试

微型 LED、光电探测器、量子点微器件的基础光电响应测试,配合光源与光电测试仪,完成器件通断、基础光电转换特性的初步验证。

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