CT系列中端探针台

一、产品概述

艾博纳 CT系列中端探针台是一款面向半导体器件、二维材料、MEMS 与传感器测试需求的科研与工程两用型探针测试平台，集成稳定的机械结构、精密探针操控、显微观察系统及多接口电学测试能力，在性能、扩展性与成本之间取得良好平衡。CT 系列定位于高校科研主力机型与企业研发常用平台，既可满足日常 I-V / C-V / 四探针等基础电学测试，也支持低噪声测试与多探针协同测试，是从入门级探针台升级的理想选择。

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一、产品概述

二、产品特点与优势

1. 中端定位，性能与成本平衡

相比基础型探针台，CT在结构稳定性与操控精度上全面提升，相比高端综合平台，配置更精简、维护与采购成本更可控

2. 稳定可靠的机械结构设计

高刚性底座与载物平台，减小探针接触过程中的机械漂移，XY 大行程平台，适合多器件、多点位测试

3. 精密探针操控系统

探针操控器支持 XYZ 三维微调；探针运动手感细腻，重复定位一致性好；支持多探针同时对准与测试

4. 显微观察与对准效率高

可配置长工作距离显微镜；同轴或倾斜观察方式可选，提升落针成功率

5. 良好的电学测试兼容性

标配 BNC 接口，满足常规电学测试；可选 Triax 低噪声接口，支持低电流测量；兼容主流源表、LCR 表与测试系统

三、典型应用场景

半导体分立器件、简单集成器件的常温电学测试；二维材料器件（Graphene、MoS₂、WSe₂ 等）输运特性测试；MEMS / 传感器器件电阻、电容、稳定性分析；企业研发与高校科研实验中的日常探针测试

四、技术参数

4.1 探针台与机械平台

系统类型	中端手动探针台
样品尺寸	芯片级样品（可选支持 2–4 inch）
载物台行程	XY：≥ 50 mm × 50 mm；Z：≥ 10 mm
位移分辨率	≤ 1 μm（微调）
重复定位精度	≤ ±2 μm（典型）
最大样品高度	≤ 25 mm
载物台形式	平面载物台（可选真空吸附）

4.2 探针操控系统

探针操控器数量	4–6 个（可扩展至 8 个）
探针调节方式	XYZ 手动微调
可选功能	θ 旋转 / 探针摆角调节
探针类型	DC 软针 / 硬针
接触稳定性	长时间测试漂移小，重复性好

4.3 显微与观察系统（可选）

显微镜类型	长工作距离光学显微镜
观察方式	同轴 / 倾斜观察
放大倍率	50× – 500×（典型）
成像接口	USB / HDMI 相机接口（可选）

4.4 电学接口与测试能力

支持测试	I-V / C-V / 四探针 / 漏电测试
接口形式	BNC（标配）
可选接口	Triax（低电流测试）
电流量级	由外接仪表决定（支持 fA 级系统）
仪表兼容	Keithley / Keysight 等主流测试仪表

4.5 系统规格

控制方式	全手动操作
供电要求	AC 220 V，50 Hz
工作环境	15–30 ℃，30–70% RH
安全设计	机械限位 / 接地保护

五、CT系列产品定位（便于你做矩阵）

中端科研探针台（常温 + 标准电学测试）；增加探针数量 + 低噪声 Triax 接口 + 显微升级；真空吸附载物台 / 加热台 / 扩展电学接口。

CT系列中端探针台

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