CB 综合性分析探针台测试系统

一、产品概述

艾博纳 CB 综合性分析探针台测试系统面向半导体器件、二维材料、MEMS 与新型材料器件的多维度电学与物性测试需求，集成高精度探针接触、稳定样品承载与环境控制、可扩展的电学测试接口与数据采集能力，实现从常规 I–V / C–V 到低噪声、多通道、原位分析的综合测试。CB 以“测试稳定性 + 接触可靠性 + 平台扩展性”为核心设计目标，支持科研场景下的快速搭建与长期重复测试，并可根据实验室的仪器体系（源表、LCR、锁相、低噪声放大器等）灵活配置，降低系统集成与维护成本。

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一、产品概述

二、系统特点与优势

1）综合测试平台，一机覆盖多任务

支持 I–V、C–V、四探针/范德堡、漏电与击穿、脉冲电学等

多通道输入/输出接口，适配不同测试链路与屏蔽要求

2）高稳定机械与精密操控

高刚性平台结构，减少接触漂移与振动引入

探针三维微调（XYZ），可选 θ 旋转/摆角结构

支持多探针同步对准，提高效率与一致性

3）可选环境与原位能力（按实验需求配置）

可选：真空/控气氛、加热/控温、光照/光电测试

可选：显微观察系统（同轴/倾斜/长工作距），便于精确落针与定位

4）低噪声与电磁屏蔽设计思路

腔体屏蔽/接地拓扑优化，降低工频与环境耦合

支持 BNC / Triax / SMA 等接口组合，满足低电流与高频测试需求

5）模块化扩展，便于升级

支持与 Keithley/Keysight 等测试仪表快速对接

支持按“教学版 / 科研版 / 高阶版”分档配置

三、典型应用

半导体器件（MOS、二极管、TFT、功率器件）常温/变温电学测试

二维材料器件（石墨烯、TMDs、hBN）接触电阻、迁移率、门控特性

MEMS/传感器（压力、电容、微结构器件）参数提取与可靠性评估

光电器件（光电导、光伏、探测器）光照 I–V、响应曲线、暗电流分析

四、技术参数

4.1 探针台与平台参数

系统类型	综合性分析探针台测试系统（电学/物性测试平台）
样品尺寸	芯片/小片为主（可选 2–4 inch 适配）
载物台行程	XY：≥ 25 mm × 25 mm（可选更大）；Z：≥ 10 mm
位移分辨率	微调分辨率 ≤ 1 μm（典型）
重复定位精度	≤ ±2 μm（典型）
探针操控器	4–12 个（可选），每个支持 XYZ 微调（可选 θ/摆角）
探针类型	DC 软针/硬针；可选同轴/低噪声/高频探针
观察系统	可选长工作距显微镜：同轴/倾斜观察；可选双相机视野

4.2 环境与温控（按配置）

工作模式	常温空气（标配）/ 真空（可选）/ 惰性气氛（可选）
真空度（可选）	≤ 1×10⁻³ ~ 1×10⁻⁵ Torr（依泵组配置）
加热台（可选）	RT ~ 200/300 ℃（可选更高温）
控温精度（可选）	±0.1 ℃（典型，视传感器与控温器）
低温模块	可选（如闭循环低温/液氮方案，按需求）

4.3 电学测试与接口（按配置）

支持测试	I–V / C–V / 四探针 / 漏电与击穿 / 脉冲电学（可选）
电流量级能力	fA–A（取决于源表/前置放大器）
接口形式	BNC（标配）；Triax（低电流可选）；SMA（高频可选）
屏蔽方案	腔体屏蔽 + 接地体系 + 低噪声线缆（按配置）
仪表兼容	Keithley 源表/LCR；Keysight 源表/LCR；锁相/前置放大器等
软件与控制	PC 软件采集与控制（可选脚本/自动化测量流程）

4.4 系统规格

供电	AC 220 V，50 Hz（可按需求）
工作环境	15–30 ℃；30–70% RH（建议干燥洁净环境）
安全与保护	过温/急停/互锁（按配置）

五、交付与选配建议（便于你做“分档型号”）

CH-12 Basic（教学/基础测试）：空气环境 + 4 探针 + 基础 I–V

CH-12 Research（科研常用）：加热台/更大行程 + 8–12 探针 + I–V/C–V + 低噪声线缆

CH-12 Advanced（综合分析）：真空/控气氛 + Triax 低电流 + 脉冲/高频接口 + 自动化测量

CB 综合性分析探针台测试系统

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