CY系列中端探针台
一、产品概况
CY系列中端探针台为半自动模块化设计，分桌面式（CL-6D）与立式（CL-6L）两大款型，核心搭载高精度光学对位系统（金相 + CCD 视觉）、精密电动 / 手动复合探针臂、真空吸附样品台，部分型号集成简易温控与电磁屏蔽模块。设备定位精度达 ±1μm，重复定位精度≤0.8μm，适配 2-4 英寸晶圆、≤300×300mm PCB、封装芯片（QFN/BGA/TO 封装）、光电器件等多规格样品，可无缝对接源表、网络分析仪、锁相放大器、示波器等外设，完成 DC 参数、高频射频（最高 40GHz）、I-V/C-V、光电响应、霍尔效应等中高阶测试。整机兼顾操作便捷性与测试扩展性，支持手动微调与半自动程序控测，无需超洁净机房，普通实验室 / 中试车间即可部署，是研发与中批量测试的高适配性选择。
一、产品概况
CY系列中端探针台为半自动模块化设计，分桌面式（CL-6D）与立式（CL-6L）两大款型，核心搭载高精度光学对位系统（金相 + CCD 视觉）、精密电动 / 手动复合探针臂、真空吸附样品台，部分型号集成简易温控与电磁屏蔽模块。设备定位精度达 ±1μm，重复定位精度≤0.8μm，适配 2-4 英寸晶圆、≤300×300mm PCB、封装芯片（QFN/BGA/TO 封装）、光电器件等多规格样品，可无缝对接源表、网络分析仪、锁相放大器、示波器等外设，完成 DC 参数、高频射频（最高 40GHz）、I-V/C-V、光电响应、霍尔效应等中高阶测试。整机兼顾操作便捷性与测试扩展性，支持手动微调与半自动程序控测，无需超洁净机房，普通实验室 / 中试车间即可部署，是研发与中批量测试的高适配性选择。
二、设备参数
台体规格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
三、核心功能特点
半自动化复合操作：核心轴系电动调节，支持半自动程序寻点、对位、测试，手动微调补正，兼顾效率与精准性；可存储 100 + 测试点位程序，重复测试一键调用，大幅降低人工操作误差
微米级高精度定位：电动探针臂采用精密滚珠丝杠 + 光栅尺反馈，±1μm 定位精度，满足晶圆、精细 PCB、微纳器件的微小测试点对位需求，测试重复性优于中端同类型产品
多规格样品全适配：真空吸附样品台支持 2-4 英寸晶圆精准卡位，也可适配中小尺寸 PCB/FPC、各类封装芯片，样品台带刻度与快拆定位块，样品更换与定位仅需 1-2 分钟
DC / 射频 / 光电多测兼容：原生支持 DC 直流测试（I-V/C-V/ 霍尔效应 / 电阻率），标配 DC~18GHz 射频测试，选配 40GHz 射频模块 / 光电测试模块，实现 “电测 + 射频 + 光电” 一体化测试
模块化灵活拓展：探针臂（4→6 路）、射频能力（18→40GHz）、温控模块（-40℃~150℃）、电磁屏蔽罩均可按需加装，无需整机改造，适配测试需求的逐步升级
高清视觉对位系统：金相显微镜 + 高清 CCD 双视觉，搭配高清显示屏实时显示对位画面，支持图像抓拍、点位标记，放大倍数 50~1000 倍，无视觉盲区，新手也能快速完成精准对位
稳定抗干扰设计：机身采用高刚性铸铁底座，带减震脚垫，有效降低环境振动干扰；射频款标配内置电磁屏蔽腔体，抑制电磁噪声，保障高频测试与弱信号测试的数据准确性中
批量测试高效性：半自动程序控测模式下，单测点测试速度≤2 秒，支持多测点连续自动测试，适配研发中试、产品小批量质检，效率较手动探针台提升 3-5 倍
运维便捷低成本：整机模块化设计，部件易拆卸更换，日常仅需清洁探针与样品台，无特殊耗材；电动轴系故障率低，售后维护简单，适配实验室 / 车间长期使用