CR双面探针台
一、产品概括
艾博纳（ABN)CR双面探针台为立式一体化模块化设计，核心搭载上 / 下双独立探针台系统、高清双视觉对位模组、精密电动联动平台、真空吸附双样品台，实现上下探针的同步精准对位与独立调节，定位精度达 ±0.5μm，重复定位精度≤0.3μm。设备适配≤8 英寸晶圆、≤450×450mm 双面 PCB/FPC/ 封装载板、功率器件、MEMS 器件等，可无缝对接源表、网络分析仪、高低温温控系统等外设，完成双面 DC 参数、I-V/C-V、高频射频（标配 DC~40GHz，选配 110GHz）、高低温（-80℃~200℃）双面同步测试，支持手动 / 半自动 / 全自动三种测试模式，适配研发打样、中试验证、批量质检全流程，解决传统单面探针台双面测试需二次装夹、定位误差大的行业痛点。
一、产品概括
艾博纳（ABN)CR双面探针台为立式一体化模块化设计，核心搭载上 / 下双独立探针台系统、高清双视觉对位模组、精密电动联动平台、真空吸附双样品台，实现上下探针的同步精准对位与独立调节，定位精度达 ±0.5μm，重复定位精度≤0.3μm。设备适配≤8 英寸晶圆、≤450×450mm 双面 PCB/FPC/ 封装载板、功率器件、MEMS 器件等，可无缝对接源表、网络分析仪、高低温温控系统等外设，完成双面 DC 参数、I-V/C-V、高频射频（标配 DC~40GHz，选配 110GHz）、高低温（-80℃~200℃）双面同步测试，支持手动 / 半自动 / 全自动三种测试模式，适配研发打样、中试验证、批量质检全流程，解决传统单面探针台双面测试需二次装夹、定位误差大的行业痛点。
核心基础参数
适配样品：≤8 英寸晶圆、≤450×450mm 双面 PCB/FPC/ 封装载板、功率器件、MEMS 器件、半导体封装芯片；
定位精度：上 / 下探针台 X/Y/Z 轴 ±0.5μm，双台联动对位精度≤0.8μm；
探针臂：上 / 下各标配 4 路（可扩展至 6 路），电动调节 + 手动微调，360° 旋转 +±10° 倾角调节；
光学系统：上 / 下双金相显微镜 + 高清工业 CCD，放大倍数 50~1200 倍，支持双画面同步显示、精准对位校准；
样品台：上 / 下双真空吸附样品台，带水平微调 / 刻度卡位，支持高低温温控模块集成；
射频能力：标配 DC~40GHz，选配 110GHz 毫米波射频，带双端射频屏蔽与接地设计；
测试模式：手动微调、半自动程序控测、全自动上下料（选配）；
整机规格：立式≈850×750×1200mm，净重≤120kg，占地＜0.7㎡。
二、设备参数
台体规格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，最多可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |