MTER 100 显微光谱扫描测试系统
一、产品概述
MTER 100 显微光谱扫描测试系统是由艾博纳微纳米科技自主研发的一体化显微光谱分析平台。系统集成显微成像模块、高稳定光谱检测单元、精密扫描平台与数据分析软件，适用于材料科学、半导体器件、生物样品及二维材料等领域的微区光学表征与光谱扫描分析。MTER 100 通过高数值孔径显微物镜实现微米级聚焦，结合高分辨率光谱仪与高灵敏探测器，实现对样品在空间与波长维度上的同步解析。系统支持点扫描、线扫描与面扫描（Mapping）模式，可获得样品的二维光谱分布图及定量分析结果。
二、系统组成
显微成像系统（明场 / 暗场可选）
高稳定光谱检测模块
精密二维 / 三维电动扫描平台
多波段光源模块（可扩展）
光谱数据采集与分析软件
防振与结构一体化光机系统
一、产品概述
MTER 100 显微光谱扫描测试系统是由艾博纳微纳米科技自主研发的一体化显微光谱分析平台。系统集成显微成像模块、高稳定光谱检测单元、精密扫描平台与数据分析软件，适用于材料科学、半导体器件、生物样品及二维材料等领域的微区光学表征与光谱扫描分析。MTER 100 通过高数值孔径显微物镜实现微米级聚焦，结合高分辨率光谱仪与高灵敏探测器，实现对样品在空间与波长维度上的同步解析。系统支持点扫描、线扫描与面扫描（Mapping）模式，可获得样品的二维光谱分布图及定量分析结果。
二、系统组成
显微成像系统（明场 / 暗场可选）
高稳定光谱检测模块
精密二维 / 三维电动扫描平台
多波段光源模块（可扩展）
光谱数据采集与分析软件
防振与结构一体化光机系统
三、技术特点
1. 微区高空间分辨能力
高NA物镜配合精密光路设计，实现微米级光斑尺寸，适用于二维材料与微纳结构样品分析。
2. 高光谱分辨率检测能力
采用高通量光谱仪设计，结合低噪声探测器，实现稳定、可重复的光谱采集。
3. 自动化扫描与Mapping功能
支持设定步进距离与扫描区域，实现光谱强度分布、峰位分布及多参数二维图谱重构。
4. 模块化可扩展设计
支持不同波段光源与探测模块扩展，可拓展至紫外-可见-近红外范围。
5. 稳定机械结构设计
整体结构采用一体化刚性框架，降低环境振动对光谱信号的影响。
四、技术参数（标准配置）
光谱范围 400 – 1000 nm（可扩展至 350 – 1700 nm）
光谱分辨率 ≤ 0.2 – 0.5 nm（根据光栅配置）
空间分辨率 ≤ 1 μm（与物镜NA相关）
扫描模式 点扫描 / 线扫描 / 面扫描（Mapping）
最小扫描步进 0.1 – 1 μm
扫描范围 X-Y：50 mm × 50 mm（可定制）
Z轴行程 10 – 20 mm
物镜倍率 5× / 10× / 20× / 50× / 100×
数值孔径 （NA） 0.1 – 0.9
光源类型 宽谱光源 / 单色激光（可选）
探测器类型 CCD / 制冷CCD / CMOS（可选）
信噪比 ≥ 1000:1（典型条件）
数据输出 光谱曲线 / 二维 Mapping 图 / 峰值分析报告
控制方式 PC软件控制，支持自动化扫描
工作环境 温度 18–25℃，湿度 ≤60%
电源要求 AC 220V / 50Hz
五、典型应用领域
二维材料（如MoS₂、WSe₂等）微区光谱分析
半导体器件缺陷检测
光电材料能带结构研究
微纳结构光学特性表征
生物样品光谱成分分析
薄膜均匀性与成分分布测试
六、系统优势总结
MTER 100 显微光谱扫描测试系统在微区空间分辨能力与光谱解析能力之间实现有效平衡，兼顾科研实验室使用与工程测试需求。系统结构紧凑、操作直观，支持后续功能拓展与系统升级，适用于高校科研机构及工业研发部门的精密光学测试需求。