CRXK无液氦低温探针台

CRXK无液氦低温探针台

CRXK是艾博纳(ABN)公司推出的一款无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRXK多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K,探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。CRXK 可定制容纳直径达102 毫米(4 英寸)的晶圆片,并有直径 51 毫米(2 英寸)的探测区域。


产品详情

CRXK是艾博纳(ABN)公司推出的一款无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机,开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRXK多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K,探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。CRXK 可定制容纳直径达102 毫米(4 英寸)的晶圆片,并有直径 51 毫米(2 英寸)的探测区域。


一、主要参数及描述

二、应用场景与领域

量子材料与器件:量子点、量子线、超导器件的低温输运与量子特性表征,如超导转变温度、量子隧穿效应测试。

半导体研发:先进制程 MOSFET、FinFET、GaN HEMT 等器件的低温 I-V/C-V、可靠性与失效分析,适配低温高频参数验证。

射频与微波测试:5G / 毫米波芯片、射频前端器件的低温 S 参数(回损 / 插损)、噪声系数测试,保障低温下信号完整性。

光电与新能源:红外探测器、量子点激光器的低温光电响应,有机半导体、钙钛矿材料的低温载流子动力学研究。

学术与前沿研究:高校 / 科研机构的纳米电子学、自旋电子学与二维材料(如石墨烯、MoS₂)低温特性研究。

三、核心功能特点

1.无液氦低温控制:双级 CCR 制冷,4.5K~350K(可选 675K 高温),降温可保持样品高温以抑制冷凝,适配有机材料与敏感器件Lake Shore Cryotronics

2.真空与环境控制:真空度 10⁻⁵Torr,可选环形磁场(0.19T),热辐射屏提升制冷效率,全温区样品振动<1μm(X/Y/Z 轴)

3.精密定位与测量:最多 6 路超稳定微操纵探针臂,3D 定位 + 微波探头 ±5° 旋转,兼容 DC/RF/ 微波 / 光电测量,适配单端 / 差分信号

4.自动化与兼容性:支持无人值守降温与自动校准,可集成源表、示波器、锁相放大器,适配纳米电子、量子器件与射频芯片测试Lake Shore Cryotronics

5.运维与安全:无液氦消耗,热响应快,样品更换便捷,多温度传感器保障测量重复性与稳定性

四、典型型号与应用案例

核心型号

CRXK(标准版):4.5K~350K,6 路探针臂,51mm 探测区,真空 10⁻⁵Torr,适配 2 英寸晶圆。

CRXK-High Temp:扩展高温至 675K,适配宽温区材料热稳定性测试。

CRXK-Magnetic:带 0.19T 环形磁场,适配自旋电子与磁电耦合器件测试。

应用案例

案例 1(量子器件研发):某量子计算实验室用 CRX-4K 测试超导量子比特芯片,在 4.5K 下测量能级跃迁与相干时间,通过无液氦与低振动保障测试稳定性,缩短研发周期 40%。

案例 2(半导体高频测试):某射频芯片厂商用 CRX-4K + 微波探针测试 GaN HEMT,在 77K 下验证噪声系数与功率特性,定位低温下的参数漂移,提升量产良率 25%。

案例 3(二维材料研究):西湖大学用 CRX-4K 表征石墨烯 / BN 异质结的低温输运特性,结合锁相放大器实现高 Z 测量,揭示低温下的电子迁移率变化规律。